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MOCVD烤盘炉

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型号︰JFHK
品牌︰晶伏华控
原产地︰中国
单价︰CNY ¥ 30000 / 件
最少订量︰1 件

 共有 20 相关信息  
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产品描述

 

烤盘炉处理前

烤盘炉处理后

一、BAKE烤盘炉简介
BAKE炉、BAKE烤盘炉、MOCVD真空烤盘炉、真空烤盘炉为 LED 制造行业的一种新型的真空设备,与 MOCVD 设备配套使用,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,HCL)。主要用于有效清除 MOCVD 承受器(SiC 涂层石 墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。

二、BAKE烤盘炉用途
北京晶伏华控电子设备有限公司生产的烤盘炉、真空烤盘炉、MOCVD烤盘炉、CVD烤盘炉主要应用于LED行业MOCVD石墨盘的真空烘烤工艺。

三、BAKE烤盘炉主要技术参数
1、外型形式:卧式单管
2、 工作温度:1300℃
3、加热炉管有效口径:Φ340mm
4、石英管有效口径:Φ300mm
5、等温区长度:800mm
6、控温仪表:原装进口日本理化RKC FB400高精度控温仪
7、等温区精度:600℃--1300℃ ±1℃/800mm   
8、单点温度稳定性:600℃--1300℃ ±1℃
9、 可控升温速度:15℃/min
10、 升温功率:34KW/管
11、保温功率:17KW/管
12、气路系统:每管氮气、氯化氢两路工艺气体 ,带混气罐
13、流量计:MFC+浮子流量计
14、气路管件:进口原装,长期使用不生锈
15、气路系统气密性:1×10-10 Pa·M3/S
16、控制系统:RKC高精度控制器+PLC+触摸屏方式,自动控制整个工艺流程
17、电源:三相五线380V、50Hz

北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求专业定制各种 真空炉、烤盘炉 、BAKE炉、BAKE烤盘炉、真空 烤盘炉、CVD烤盘炉、MOCVD烤盘炉、扩散炉、退火炉、合金炉、交换炉、焊接炉、IGBT焊接炉、氧化炉、气氛炉、升华炉、氢气炉、气氛炉、CVD炉及工业电炉专用炉体 等各种工业、实验室用热处理设备。
付款方式︰电议
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