一、真空管式炉简介
真空炉、真空管式炉、气氛烧结炉、真空烧结炉、真空气氛炉、管式真空气氛烧结炉 为我公司根据客户需求专业定制的真空气氛热处理设备，主要用于氮化硅镀膜、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结及退火等工艺。本设备 具有 ：关键部件进口、自动化程度高、 温度均匀、控制稳定等特点 ，是理想的科研及生产设备。
二、真空管式炉 技术指标
1、外型形式：单管卧式，可根据客户需求定制
2、加热器形式：固定式加热器（产品随炉升、降温）
3、加热元件：硅钼棒
4、工艺管材质：高纯AL 2 O 3
5、 工作温度：1600℃
6、持续工作温度：1500℃
7、升温速度：1-1 5 ℃/ min
8、控温 精度：±1℃
9、炉管尺寸：Φ100*1200mm
10、加热区尺寸： 6 00mm
11、恒温区长度： 300mm
12、 加热功率10KW，保温功率5KW
13、反射板：产品与炉口之间有数层反射板，以减少高温对炉口的热辐射。反射板采用高纯AL 2 O 3 制作，结构为可方便拆卸结构。
14、气路：N 2 、H 2 、 NH 3
15、极限真空度：1.0*10 -1 Pa
16、 充气正压：30KPa
17、真空计：采用数字式压力传感器
18、温控系统：日本岛电32段可编程温控仪
19、控制方式：调功调压
20、密封系统冷却方式：水冷
21、操作方式：手、自动两种操作方式
22、报警及保护：系统设有超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护
23、供电电源：AC380V±10%、50Hz
24、总功率：10KW、三相五线制
北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求专业化定制各种： 管式炉、真空炉、管式真空炉、真空管式炉、真空烧结炉、 气氛炉、管式气氛炉、管式气氛烧结炉、真空气氛炉、热处理气氛炉、气氛保护箱式 炉、热处理气氛炉、 箱式气氛炉、保护气氛炉、高温气氛炉、气氛保护炉、加热气氛炉 等各种真空气氛保护热处理设备，欢迎广大客户来电来函。
付款方式︰ 面议
